
24일 경기도에 따르면 경기도 지역협력연구센터(GRRC)에서 연구를 수행하고 있는 서수정 성균관대 신소재공학부 교수팀은 센터가 보유하고 있는 첨단 반도체 공정 장비를 활용, 균일한 곡면 실리콘 구조물을 구현할 수 있는 공정 기술을 참여기업에 지원한 결과 적외선 필터(IR Filter)와 적외선 렌즈(IR Lens)의 대량 양산체제 기반을 마련할 수 있게 됐다.
열감지 센서 어플리케이션의 소형화에 따라 여기에 사용되는 적외선 필터(IR filter)·적외선 렌즈(IR Lens)의 소형화는 필수적이다. 마이크로 크기의 렌즈를 기존 연마방식으로 제작할 경우 상당한 제작비용과 시간이 필요하지만, 반도체 공정 초소형 미세가공기술(MEMS)을 이용하면 짧은 시간에 대량의 렌즈 제작이 가능하고 생산비용 또한 절감할 수 있다.
이러한 반도체 공정을 활용한 소형 적외선 필터(IR filter)·적외선 렌즈(IR Lens)를 개발하기 위해서는 적외선 필터를 구현하기 위한 반사방지용 코팅(Anti Reflection) 기술과 실리콘(Si) 기반의 곡면 초소형 미세가공기술(MEMS) 공정 기술이 중요하다.
㈜서울정광은 적외선 반사방지용 코팅(Anti Reflection) 공정 기술로 적외선 필터 부품을 생산하고 있었는데 제품 소형화에 어려움을 겪던 중 성균관대 서수정 교수팀으로부터 반도체 공정개발 기술과 적외선 필터 도금 공정 기술을 기술이전 받아 제품 양산에 성공할 수 있었다. 양산에 성공한 적외선 필터(IR filter)·적외선 렌즈(IR Lens)는 기존 제품 대비 소형제품에 적용이 가능해 휴대폰, 열센서, 3D 스캐닝 모듈 등의 기기에까지 활용될 수 있다.
김수아 빅데이터뉴스 기자 news@thebigdata.co.kr
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