와이에이치이엔에스는 반도체 및 첨단 산업의 원가 절감과 ESG 경영을 지원하기 위해 고온 습식 세정 공정 솔루션을 개발하는 창업기업으로 현재 ‘고온 약액 사용점 히터’와 ‘가열 척’ 두 가지 기술을 개발 중이며, 특히 히팅 암(Heating Arm) 개발에 집중하고 있다.
히팅 암은 공정 챔버의 기존 노즐 암을 대체해 약액을 목표 온도까지 승온 후 직접 토출하는 모듈로, 별도 외부 가열 없이 고온 약액을 안정적으로 공급해 공정 효율성과 에너지 절감을 동시에 달성할 수 있는 기술이다.
‘창업성장기술개발사업-디딤돌’은 중소벤처기업부에서 창업기업에 대한 전략적 R&D지원을 통하여 기술기반 창업기업의 혁신성장 촉진 및 창업 강국으로의 도약을 위한 기술개발을 지원하는 대표적인 R&D사업이다. 참여 조건은 창업 7년 이하이면서 최근년도 매출액 20억 원 미만의 창업기업이다.
이번 1차 사업에는 총 160억 원의 예산으로 240개 내외의 기업을 선발하였으며, 올해는 전년보다 지원규모가 확대되어 1년 6개월간 최대 2억원의 기술개발 자금을 지원받게 된다.
와이에이치이엔에스 김유환 대표는 “반도체 미세 공정이 정밀해질수록 습식 세정 스텝과 불산·황산·인산 등 고온 약액 사용이 증가하고 있다. 이에 따라 대기업들에서는 약액 비용 절감과 고온 세정 성능을 동시에 만족시킬 해법을 요구하고 있다”고 전했다.
이어 “현재 우리 회사는 램프 가열의 한계를 넘어 약액을 250℃ 이상 안정적으로 승온·공급하는 방식에 집중하고 있으며, 앞으로 약액 비용 절감과 ESG 경영 지원을 동시에 달성해 글로벌 반도체 업계에 지속 가능한 솔루션을 제공하는 것을 목표로 열심히 해나가겠다”고 포부를 밝혔다.
한국공대BI 김성태 센터장은 “와이에이치이엔에스는 올해 입주기업으로 입주하자마자 이런 성과를 내게되어 대단히 기쁘다”며 “이번 사업을 발판 삼아 보다 성장할 수 있도록 우리 센터에서도 지속적으로 관심을 갖고 지원해 나가게다”고 밝혔다.
이병학 빅데이터뉴스 기자 lbh@thebigdata.co.kr
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