2일 한국거래소에 따르면 지난달 30일 시간외 매매에서 에프에스티 주가는 종가보다 1.8% 오른 3만3850원에 거래를 마쳤다. 에프에스티의 시간외 거래량은 16만9845주이다.
국내 주요 펠리클 개발 기업들이 양산 채비를 서두르고 있다. 펠리클은 반도체 초미세 회로를 새기는 극자외선(EUV) 노광 공정에 쓰이는 주요 부품으로, 선제적인 생산 능력 확보로 임박한 시장 수요에 대응하려는 포석이다.
업계에 따르면 에스앤에스텍은 올해 7월까지, 에프에스티는 내년 8월까지 EUV 펠리클 양산 설비를 확보할 방침이다.
에스앤에스텍은 연내 완공하는 경기도 용인공장에서 EUV 펠리클을 양산할 예정이고, 에프에스티는 올 하반기 양산을 위한 구체적 설비투자 계획을 발표한다.
펠리클은 반도체 회로 패턴이 그려진 포토마스크에 이물이 묻지 않도록 해 손상을 방지한다.
EUV 펠리클은 심자외선(DUV) 대비 강력한 노광 출력을 견딜 내구성을 갖춰야 하고, 90% 이상의 투과율 확보해 웨이퍼에 도달하는 에너지 손실이 최소화해야 한다.
두 업체는 투과율 90% 이상으로 400와트(W) 출력을 견디는 1세대 EUV 펠리클 개발을 완료했다.
현재 차세대 제품을 개발하고 있다. 2세대 제품은 2025년 이후 2나노(㎚) 공정에서 사용될 '하이 NA' EUV 장비 출력을 견딜 수 있는 수준으로 개발할 예정이다.
TSMC는 일찌감치 EUV 펠리클을 도입했지만 자체 제작과 외산 제품을 활용하고, 삼성전자는 EUV 펠리클 도입에 신중한 자세를 보여 국내 기업에는 공급 기회가 많지 않았다.
그러나 삼성전자가 현재 EUV 공정 라인을 포함, 하이 NA EUV 장비를 활용하기 전에 펠리클을 도입하는 것으로 전향적 자세를 보이면서 대규모 수요가 임박한 것으로 보인다.
특히 EUV 공정에서는 단일 칩 크기가 클수록 수율 저하가 심하다. EUV 펠리클을 사용하면 이를 방지할 수 있어 비용 절감 효과가 크다.
인공지능(AI) 반도체가 대표적으로, 단일 칩 면적이 큰 '빅칩' 시장이 커지면서 EUV 펠리클의 이점도 부각될 수 있다.
최근 삼성전자 파운드리가 AI 반도체 팹리스를 잇따라 고객으로 확보한 것도 EUV 펠리클 도입에 영향을 준 것으로 풀이된다.
한편 에프에스티는 반도체와 디스플레이 노광 공정에서 마스크를 보호하기 위한 펠리클, 식각, 에칭, 증착 등의 온도를 일정하게 유지해주는 칠러 장비 생산을 주력으로 한다.
매출 비중은 펠리클 44.3%, 칠러장비 55.7%로 나뉜다. 펠리클 내에서 반도체와 디스플레이 비중은 7:3 수준이다.
지난해 11월 에프에스티는 펠리클 신규시설투자를 공시했다. 총 투자 규모는 330억 원으로 펠리클로 환산하면 12~15만 장 규모이다.
CTT리서치는 "이번 공시를 통해 증설하는 펠리클 투자 규모는 기존 CAPA 의 최대 50%에 달하는 수준으로 그 규모가 상당함을 알 수 있다"고 설명했다.
이어 "이는 그동안 부진했던 반도체 업황이 2024년부터 돌아서며 국내 고객사의 수요 확대와 미국 테일러 공장 가동 및 최근 들어 빠르게 증가하고 있는 중화권 고객사 수요까지 대응하기 위해 선제적으로 투자를 단행한 것"으로 판단했다.
이에 따라 펠리클 부문의 실적이 성장할 것으로 보며, 최악의 반도체 업황에서 투자를 단행하는 이면에는 고객사의 요청이 있었다고 추정했다.
현재 에프에스티의 최대 고객사는 삼성전자이고 2021년 3월 지분투자를 단행해 현재 7%의 지분을 보유하고 있다.
지난해 7월에는 고객사에 EUV 펠리클 탈부착장비(EPMD)와 EUV 펠리클 검사장비(EPIS)를 공급했다. 여기에 이르면 연내 관계기업 이솔이 개발한 EUV 마스크 리뷰장비(SREM)를 최종 매출로 인식할 것으로 예상된다.
CTT리서치는 "SREM 장비는 독일의 칼자이스(Carl Zeiss)가 사실상 독점하고 있는 장비로 매출화가 확정되면 고객사의 EUV 공정 본격 양산에 앞서 외산 장비의 독점을 깨고 국산화를 성공하게 되는 것으로 그 의미가 상당할 것"이라며 "향후 EUV 공정 양산이 본격화되면 큰 폭의 장비 수주로 이어질 것"으로 전망했다.
김준형 빅데이터뉴스 기자 kjh@thebigdata.co.kr
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