예스티, 주가 급등…"5배 비싸다" '고압 어닐링 장비' 특허 분쟁 촉각

김준형 기자

2024-10-31 04:04:43

예스티, 주가 급등…"5배 비싸다" '고압 어닐링 장비' 특허 분쟁 촉각
[빅데이터뉴스 김준형 기자]
예스티 주가가 시간외 매매에서 급등했다.

31일 한국거래소에 따르면 전일 시간외 매매에서 예스티 주가는 종가보다 1.14% 오른 2만2250원에 거래를 마쳤다. 예스티의 시간외 거래량은 1만34주이다.

코스닥시장 상장사인 예스티는 삼성전자 등 반도체 대기업에 장비를 판매하는 회사다.

고대역폭메모리(HBM) 제조공정 중 웨이퍼의 불순물을 제거하고 절연수지를 고루 채우기 위해 웨이퍼에 압력을 가하는 가압 장비를 만든다. 압력을 골고루 가하면서 고압에서도 변형이 없도록 하는 기술이 핵심이다.
최근 2년간 반도체 업황 부진과 이익률 낮은 제품들 때문에 적자를 냈지만 올 상반기 흑자로 돌아섰다. 이익률이 낮은 제품을 빼고 웨이퍼 가압 장비, 습도 제어 장비 등으로 포트폴리오를 재편한 덕분이다.

예스티의 미래 성장동력이 될 사업은 고압 어닐링 장비다. 반도체 핵심 공정 중 하나인 어닐링은 반도체의 실리콘옥사이드(SiO) 표면 결함을 고압의 수소, 중수소로 치환해 신뢰성을 높이는 공정이다.

이 장비는 기존 가압 장비보다 다섯 배 이상 비싼 고부가가치 상품이다. 기존 고압 어닐링 장비는 1회에 최대 75매까지 반도체 웨이퍼 처리가 가능한데, 예스티는 자체 고온· 고압 기술을 활용해 동시에 125매의 웨이퍼를 처리할 수 있다. 반도체 웨이퍼의 생산성을 약 60% 향상시키는 특징을 지녔다.
이번 기술개발로 어닐링 공정이 도입된 반도체 제조 과정에서 웨이퍼의 생산성이 획기적으로 증가할 것으로 회사 측은 기대했다.

그동안 고압 어닐링 장비는 HPSP가 독점해왔다. 지난해 예스티가 SK하이닉스에 이 장비를 공급하기로 하고 샘플 테스트까지 마쳤는데 이 시장을 독점하던 경쟁사 HPSP가 특허침해 소송을 걸었다. 예스티는 소극적 권리범위확인 심판, 무효심판을 제기하면서 대응에 나섰다.

예스티는 HPSP의 특허와 관계없는 기술이라는 심판을 청구하고 특허 자체를 무력화하는 두 가지 심판을 동시에 제기한 것이다.

삼성전자 SK하이닉스뿐 아니라 TSMC 마이크론 인텔 등 글로벌 회사들이 모두 HPSP의 고압 어닐링 장비를 쓰고 있다. 특허 소송이 잘 마무리되면 시장 판도를 뒤집을 수 있을 것으로 회사 측은 기대하고 있다.
예스티의 중장기 목표는 제품군과 고객사 다변화다. 가압 장비에 치중된 매출 비중을 고압 어닐링 장비, 습도제어 장비, 히팅재킷 등으로 확장해나가고 있다.

예스티가 신청한 '무효심판'과 '소극심판' 구술 심리는 지난 7월 열린 것으로 알려졌다. 또 지난 29일에는 심리종결통지서의 발송처리가 완료됐다.

김준형 빅데이터뉴스 기자 kjh@thebigdata.co.kr
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