31일 한국거래소에 따르면 전일 시간외 매매에서 예스티 주가는 종가보다 1.14% 오른 2만2250원에 거래를 마쳤다. 예스티의 시간외 거래량은 1만34주이다.
코스닥시장 상장사인 예스티는 삼성전자 등 반도체 대기업에 장비를 판매하는 회사다.
고대역폭메모리(HBM) 제조공정 중 웨이퍼의 불순물을 제거하고 절연수지를 고루 채우기 위해 웨이퍼에 압력을 가하는 가압 장비를 만든다. 압력을 골고루 가하면서 고압에서도 변형이 없도록 하는 기술이 핵심이다.
예스티의 미래 성장동력이 될 사업은 고압 어닐링 장비다. 반도체 핵심 공정 중 하나인 어닐링은 반도체의 실리콘옥사이드(SiO) 표면 결함을 고압의 수소, 중수소로 치환해 신뢰성을 높이는 공정이다.
이 장비는 기존 가압 장비보다 다섯 배 이상 비싼 고부가가치 상품이다. 기존 고압 어닐링 장비는 1회에 최대 75매까지 반도체 웨이퍼 처리가 가능한데, 예스티는 자체 고온· 고압 기술을 활용해 동시에 125매의 웨이퍼를 처리할 수 있다. 반도체 웨이퍼의 생산성을 약 60% 향상시키는 특징을 지녔다.
그동안 고압 어닐링 장비는 HPSP가 독점해왔다. 지난해 예스티가 SK하이닉스에 이 장비를 공급하기로 하고 샘플 테스트까지 마쳤는데 이 시장을 독점하던 경쟁사 HPSP가 특허침해 소송을 걸었다. 예스티는 소극적 권리범위확인 심판, 무효심판을 제기하면서 대응에 나섰다.
예스티는 HPSP의 특허와 관계없는 기술이라는 심판을 청구하고 특허 자체를 무력화하는 두 가지 심판을 동시에 제기한 것이다.
삼성전자 SK하이닉스뿐 아니라 TSMC 마이크론 인텔 등 글로벌 회사들이 모두 HPSP의 고압 어닐링 장비를 쓰고 있다. 특허 소송이 잘 마무리되면 시장 판도를 뒤집을 수 있을 것으로 회사 측은 기대하고 있다.
예스티가 신청한 '무효심판'과 '소극심판' 구술 심리는 지난 7월 열린 것으로 알려졌다. 또 지난 29일에는 심리종결통지서의 발송처리가 완료됐다.
김준형 빅데이터뉴스 기자 kjh@thebigdata.co.kr
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