31일 한국거래소에 따르면 전일 시간외 매매에서 넥스틴 주가는 종가보다 1.08% 오른 5만6000원에 거래를 마쳤다. 넥스틴의 시간외 거래량은 128주이다.
이는 반도체 장비업체 넥스틴의 유상증자 결정이 철회됐기 때문으로 풀이된다.
금융감독원 전자공시에 따르면 넥스틴은 99억 9998만원 규모의 제3자배정 방식의 유상증자를 철회한다고 30일 공시했다.
한편 넥스틴은 신규 장비인 고대역폭메모리(HBM) 장비 '크로키'와 극자외선(EUV) 정전기 제거 장비 '레스큐(ResQ)', 3차원 낸드 검사 장비 '아이리스II(IRIS-II)' 상용화를 추진중이다.
넥스틴이 개발 완료한 '크로키'는 HBM의 불량 여부를 검사하는 장비다. HBM은 여러 개의 D램을 수직으로 적층한 메모리로, 막대한 양의 웨이퍼 투입이 필요한데 제조 과정에서 웨이퍼가 틀어질 가능성이 있다.
이 경우, 타 장비는 칩이 수평으로 놓였다는 가정 하에 검사를 진행해 결함을 평가하기 어려웠다. 넥스틴이 개발한 '크로키'는 2D 검사를 통해 웨이퍼가 틀어진 상태에서도 검사가 가능하다는 특징이 있다.
또한 '레스큐'는 웨이퍼상의 미세 정전기를 제거하는 장비로, 웨이퍼 표면 정전기만 제거 가능한 타 제품들과 달리 세계 최초로 웨이퍼 안쪽 정전기까지 제거 가능한다.
'아이리스II'는 적층 구조의 3차원 낸드 하단부까지 검사할 수 있는 장비로 파장이 하단부까지 도달하지 못하는 기존 장비의 한계를 극복했다.
넥스틴은 그동안 주력 제품인 '이지스(AEGIS)' 시리즈로 장비 시장에서 입지를 다져왔다. 올해부터는 장비 다각화를 본격화하면서 시장 영역을 더욱 강화할 예정이다. 넥스틴의 주력 장비 '이지스'시리즈는 2년마다 성능을 개선을 통해 현재 '이지스Ⅲ' 장비까지 상용화되고 있다.
2010년 설립된 넥스틴은 국내 유일의 전(前)공정 패턴 결함 검사장비 제조사로 '이지스' 시리즈를 통해 다크필드(dark-field·암조명) 검사 장비를 주력하고 있다.
그동안 다크필드 검사장비 시장은 미국 기업 'KLA-텐코'가 장악해왔으며, 넥스틴은 자체 기술력을 통해 KLA에 당당히 도전장을 내밀며 기술 격차를 점차 좁혀가고 있다.
또한 넥스틴은 내년부터 브라이트필드(Bright-field·명조명)시장에도 진출해, 다크필드와 브라이트필드 장비를 각각 따로 공급 중인 KLA의 시장 점유율을 점차 확보해 나갈 예정이다.
반도체 광학 패턴 결함 검사 장비는 빛을 조사하는 방식에 따라 다크필드와 브라이트필드로 나뉜다. 다크필드는 자외선(EUV) 광원과 비스듬하게 빛을 보내 산란광을 사용해 결함을 확인하는 방식으로, 30nm 수준의 결함까지 검출 가능하며 속도가 빠르다.
브라이트필드는 극자외선(DUV) 광원과 수직으로 빛을 쏴 반사광을 이용해 결함을 검출하는 장비로 높은 기술력을 요한다. 15nm 수준의 결함까지 검출이 가능해 더욱 면밀한 검사가 가능하며, 다크필드 장비에 비해 가격이 약 2배 정도의 고가 장비다.
넥스틴은 현재까지 다크필드 시장에서만 입지를 다져왔다면, 내년부터는 브라이트필드 시장 진출을 통해 광학 패턴 검사 장비의 영역을 모두 확보해 나갈 계획이다.
김준형 빅데이터뉴스 기자 kjh@thebigdata.co.kr
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