18일 한국거래소에 따르면 전일 시간외 매매에서 예스티 주가는 종가보다 2.61% 내린 2만500원에 거래를 마쳤다. 예스티의 시간외 거래량은 3501주이다.
최근 예스티 주가 변동성이 커지고 있다. 이는 반도체 장비 전문기업 예스티의 고압 수소 어닐링 장비 품질 평가가 막바지 단계에 진입했다는 소식이 전해지면서다.
예스티가 장비 상용화에 속도를 내고 있는 '고압 수소 어닐링 장비'는 지난해 경쟁사로부터 특허소송이 제기돼, 현재 특허 분쟁도 진행 중이다.
업계에 따르면 고압 수소 어닐링 장비 막바지 평가가 진행되고 있다. 3분기 내 평가가 완료될 것으로 보고 있다.
고압 수소 어닐링 장비는 반도체 산화 공정에서 발생하는 웨이퍼 실리콘(Si) 표면 결함을 중수소 또는 수소로 치환해 표면의 특성과 수율을 향상시키는 장비다.
기존 고압 어닐링 장비는 1회에 최대 75매까지 반도체 웨이퍼 처리가 가능한데, 예스티는 자체 고온· 고압 기술을 활용해 동시에 125매의 웨이퍼를 처리할 수 있다. 반도체 웨이퍼의 생산성을 약 60% 향상시키는 특징을 지녔다.
이번 기술개발로 어닐링 공정이 도입된 반도체 제조 과정에서 웨이퍼의 생산성이 획기적으로 증가할 것으로 회사 측은 기대했다.
현재 도입을 검토 중인 글로벌 반도체 기업들이 해당 기술에 상당한 관심을 보이고 있다는 설명이다.
예스티는 기존에 진행해 온 고압 어닐링 장비에 대한 상용화 테스트뿐 아니라 반도체 생산성을 대폭 향상할 수 있는 이번 신기술을 적용한 고압 어닐링 장비도 양산할 계획이다.
다만 관련 특허기술을 보유한 반도체 장비 기업 'HPSP'로부터 기술 침해를 이유로 특허소송이 제기 돼, 현재 특허 분쟁이 진행 중이다.
그동안 고압 어닐링 장비는 HPSP가 독점해왔다. 지난해 9월, HPSP가 해당 제품에 대한 자사의 특허를 침해했다며 소송을 진행했고, 예스티는 소극적 권리범위확인 심판, 무효심판을 제기하면서 대응에 나섰다.
예스티는 HPSP의 특허와 관계없는 기술이라는 심판을 청구하고 특허 자체를 무력화하는 두 가지 심판을 동시에 제기한 것이다.
예스티가 신청한 '무효심판'과 '소극심판' 구술 심리는 이달에 열린다. 이번 판결로 인해 독점적 지위를 유지하고 있는 고압 어닐링 장비 시장의 향후 방향이 달렸다는 점에서 주목받고 있다. 예스티가 승소하면 사실상 독점 체제가 깨지면서 관련 시장이 이원화 구도로 진입하게 된다.
김준형 빅데이터뉴스 기자 kjh@thebigdata.co.kr
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