17일 한국거래소에 따르면 전일 시간외 매매에서 에프에스티 주가는 종가보다 1.41% 오른 2만1600원에 거래를 마쳤다. 에프에스티의 시간외 거래량은 2만8353주이다.
이는 에프에스티가 삼성전자 파운드리 사업부와 함께 차세대 기술인 하이-NA 극자외선(EUV) 노광에 필요한 핵심 소재 상용화를 위해 속도를 내고 있다는 소식이 전해졌기 때문으로 풀이된다.
앞서 한 매체는 삼성 파운드리의 ‘바쿠스(BACUS) 2024’ 학회 발표 자료를 인용해 탄소나노튜브(CNT) 펠리클 상용화를 위한 특성 확보에 성공했다고 보도했다.
앞서 삼성전자의 협력사인 에프에스티는 올 하반기부터 EUV 펠리클 양산을 시작할 것으로 관측된 바 있다.
지난 2021년 삼성전자는 기술 개발 협력을 위해 이 회사에 430억원을 투자한 바 있다.
CNT 펠리클은 웨이퍼 위에 빛으로 회로를 새기는 노광 공정에서 활용되는 소재다. 펠리클은 빛이 회로를 새기기 위해 거쳐가야 하는 '마스크'를 보호하는 덮개다.
CNT 펠리클은 헝겊처럼 작은 구멍들이 뚫려있어 빛은 통과시키면서 마스크에서 떨어진 이물질들은 그물망처럼 보호할 수 있다. 따라서 90% 이하의 낮은 투과율을 보이는 기존 펠리클의 대안으로 거론되고 있다.
이번 개발로 삼성 파운드리의 펠리클 공급망 다변화도 기대된다. 기존에는 일본 미쓰이화학의 펠리클을 파운드리 공정에 소량 적용했다.
다만 CNT 제품의 경우 국내 소재 기업인 에프에스티와 ‘캐핑(Capping) CTN 펠리클’이라는 기술을 협력 개발해 수명을 20배나 더 늘렸다고도 소개했다.
CTT 리서치는 에프에스티에 대해 올 하반기 극자외선(EUV) 펠리클 양산을 시작하며 큰 폭의 실적 향상이 예상된다고 언급했다.
김준형 빅데이터뉴스 기자 kjh@thebigdata.co.kr
[알림] 본 기사는 투자판단의 참고용이며, 제공된 정보에 의한 투자결과에 대한 법적인 책임을 지지 않습니다.
<저작권자 © 빅데이터뉴스, 무단 전재 및 재배포 금지>
