20일 한국거래소에 따르면 전일 시간외 매매에서 케이씨텍 주가는 종가보다 1.09% 오른 3만2400원에 거래를 마쳤다. 케이씨텍의 시간외 거래량은 387주이다.
케이씨텍은 반도체와 디스플레이 전공정에 사용되는 장비와 소모성 재료를 생산하는 업체다. 반도체 장비로는 반도체 웨이퍼를 평탄하게 연마하는 CMP와 웨이퍼의 미세 오염물질을 제거하는 데 쓰이는 WCS를 제조한다.
디스플레이 생산에 활용되는 습식(wet) 공정장비와 세정장비 등도 만들고 있다. 소모성 재료로 CMP 공정을 진행할 때 반도체 표면 기판을 연마하는 데 쓰이는 ‘세리아 슬러리’ 등도 생산한다.
초임계는 물질이 임계 온도와 압력을 초과할 때 발생하는 물리 상태를 말한다. 초임계 상태에서 물질은 액체와 기체 구분이 없어지며, 두 상태 특성을 동시에 가지게 된다.
액체와 동일한 밀도를 가져 반도체 웨이퍼 내 잔류물과 오염물을 쉽게 용해하면서도 기체 성질을 동시에 띠기 때문에 미세 패턴 내부 영역까지도 완벽히 도달해 찌꺼기를 제거할 수 있다.
반도체 업계에선 10나노급 D램 생산을 시작할 때 상용화됐다. 국내에선 세메스, 해외에선 일본 TEL 등 일부 선진 장비사만 이 기술 상용화에 성공했다.
케이씨텍은 지난 3년여간 이 장비를 SK하이닉스와 비밀리 공동 연구 개발해왔다. 완성 장비 대당 가격이 100억원을 훌쩍 넘기기 때문에 개발 과정에서 케이씨텍이 투입한 자재 비용과 인력 R&D 비용도 수백억원에 달하는 것으로 추산되고 있다.
SK하이닉스는 해당 장비를 일본 도쿄일렉트론(TEL)으로부터만 조달해왔다. 상용화에 성공하면 케이씨텍은 고부가 세정 장비군이 신규 매출원으로 들어오고, SK하이닉스는 조달 안정성을 높일 수 있을 것으로 관측된다.
김준형 빅데이터뉴스 기자 kjh@thebigdata.co.kr
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